设备名称：3D轮廓测量仪（侧重观察）
设备型号：VHX-6000
生产商：日本KEYENCE公司
购置时间：2018年12月
责任人：高禩洋
联系方式：024-23971778
主要用途：用于表面3D形貌拼接观察，辅助以简单测量
性能指标：