| 测量部分 | 驱动箱滑行速度：0.2，0.5，0.8，1.0 mm/s |
| 测量范围：垂直400μm，水平120mm |
| 表面粗糙度示值误差：≤±5% |
| 最小分辨力：垂直0.6nm，水平1μm |
| 传感器测针：金刚石棱锥，锥角90°，针尖半径：2μm |
| 传感器配置 | 标准粗糙度传感器（测量Ra不小于0.02μm的工件表面） |
| 刚性粗糙度传感器（测量Ra不小于0.1μm的工件表面，可用于小型工件） |
| 圆弧粗糙度传感器（测量Ra不大于0.4μm的光滑曲面） |
| 刚性深槽粗糙度传感器（测量深度不大于11mm，宽度不小于4mm的深槽底部） |
| 工作台 | 微调工作台：绕Y轴旋转3° |
| 调斜工作台：X轴平移 ±10mm，Y轴平移 ±5mm，绕Y轴旋转 ±20° |
