设备名称：3D光学轮廓仪
设备型号：ups-sigma
生产商：美国Rtec公司
购置时间：2018年12月
责任人：薛伟海
联系方式：024-23971982
主要用途：用于表面3D形貌拼接观察，辅助以简单测量
性能指标：包含干涉、共聚焦、明场、暗场四种模式