辽宁省航发材料摩擦学重点实验室
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3D光学轮廓仪
2021-11-17  |          【 】【打印】【关闭

设备名称:3D光学轮廓仪
设备型号:ups-sigma
生产商:美国Rtec公司
购置时间:2018年12月
责任人:薛伟海
联系方式:024-23971982
主要用途:用于表面3D形貌拼接观察,辅助以简单测量
性能指标:包含干涉、共聚焦、明场、暗场四种模式

  干涉镜头 共聚焦镜头
镜头倍率 10X 50X
数值孔径(NA) 0.3 0.8
工作距离(mm) 7.4 1
视场(μm) 1730×1300 350×260
垂直分辨率(nm) 优于0.01 2.5

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