设备名称：多功能等离子体浸没注入与沉积系统
设备型号：DLZ-02
生产商：中国锦州航星真空设备有限公司
购置时间：2014年3月
责任人：高禩洋
联系方式：024-23971778
主要用途：用于材料表面物理气象沉积涂层的制备
性能指标：